國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)崛起 打破海外壟斷尤需技術(shù)創(chuàng)新

時間:2013-12-26

來源:網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)載

導(dǎo)語:即使某些設(shè)備供應(yīng)商的研發(fā)團隊具有國際前沿技術(shù)研發(fā)能力,開發(fā)出高端設(shè)備,卻苦于沒有機會進入應(yīng)用領(lǐng)域進行驗證,導(dǎo)致無法在工藝驗證及批量生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)問題、改進設(shè)備,最終高端設(shè)備無法實現(xiàn)批量銷售、缺乏市場競爭力。

與國外半導(dǎo)體裝備巨頭相比,國內(nèi)廠商仍存較大差距,當(dāng)前國內(nèi)高端制造裝備大多仍需依賴進口。專家表示,國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)亟須努力突破核心技術(shù),加大資本投入,構(gòu)建完善生態(tài)鏈體系。

國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)迅速崛起

據(jù)中國科學(xué)院微電子研究所所長葉甜春介紹,近年來國內(nèi)外市場需求為國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備業(yè)提供了歷史性發(fā)展機遇。目前一批極大規(guī)模集成電路制造裝備、集成電路先進封裝工藝制造裝備、高亮度發(fā)光二極管制造裝備開發(fā)成功,國產(chǎn)裝備實現(xiàn)從無到有、從低端裝備到高端裝備的突破,一些裝備開始與國際領(lǐng)先廠商競爭。

中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會常務(wù)副秘書長金存忠表示,“十二五”期間國家出臺支持發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的諸多政策,國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”明確提出,“十二五”期間將重點進行45—22納米關(guān)鍵制造裝備攻關(guān)等,使裝備和材料占國內(nèi)市場的份額分別達到10%和20%,并開拓國際市場。

與國際巨頭相比仍存較大差距

隨著國家啟動專項的支持和推進,一些關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備已從2000年落后國外先進水平5代,縮短為現(xiàn)在的1-2代,已有部分設(shè)備可以在大生產(chǎn)線上替代國外設(shè)備。但僅僅有幾種設(shè)備國產(chǎn)化還遠遠不夠,國內(nèi)仍然沒有整線制造的能力。許多國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備中的關(guān)鍵零部件也仍不具備國產(chǎn)化能力,依然需要進口,這也使得國產(chǎn)設(shè)備的完全自主仍然面臨挑戰(zhàn)。

我國半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展始于模仿,設(shè)備本體的設(shè)計與制造和與之配套的工藝技術(shù)脫節(jié)比較嚴重,戰(zhàn)略模式、商業(yè)模式、創(chuàng)新能力與國際巨頭相比仍存較大差距,而且設(shè)備供應(yīng)商缺乏對產(chǎn)品應(yīng)用趨勢和發(fā)展方向的深入了解。即使某些設(shè)備供應(yīng)商的研發(fā)團隊具有國際前沿技術(shù)研發(fā)能力,開發(fā)出高端設(shè)備,卻苦于沒有機會進入應(yīng)用領(lǐng)域進行驗證,導(dǎo)致無法在工藝驗證及批量生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)問題、改進設(shè)備,最終高端設(shè)備無法實現(xiàn)批量銷售、缺乏市場競爭力。

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