沈陽(yáng)富創(chuàng)承擔(dān)的“基于焊接和表面涂覆技術(shù)的大型鋁件制造技術(shù)開(kāi)發(fā)”項(xiàng)目，已得到國(guó)家“十二五”02重大專(zhuān)項(xiàng)支持。“這一技術(shù)突破，使我們?cè)诎雽?dǎo)體裝備，包括極大規(guī)模集成電路裝備的零部件加工能力達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。該技術(shù)還可拓展到航空、航天、航海等領(lǐng)域。”企業(yè)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹。同時(shí)，中科儀、沈陽(yáng)新松也獲得千萬(wàn)元以上國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)資金支持。

沈陽(yáng)市科技局相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，沈陽(yáng)將大力推進(jìn)機(jī)器人、IC裝備等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，把沈陽(yáng)打造成以機(jī)器人為核心的高端裝備制造產(chǎn)業(yè)基地。

為推動(dòng)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)發(fā)展，沈陽(yáng)將突出龍頭企業(yè)的研發(fā)活動(dòng)，并以中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化所為依托，設(shè)立新型研發(fā)實(shí)體，圍繞機(jī)器人產(chǎn)業(yè)鏈開(kāi)展研發(fā)、中試相關(guān)工作，并鼓勵(lì)一批高新技術(shù)人才創(chuàng)業(yè)。

今年，沈陽(yáng)新松開(kāi)展了智能型工業(yè)機(jī)器人應(yīng)用研究，將力控制技術(shù)和視覺(jué)技術(shù)在機(jī)器人平臺(tái)上進(jìn)行集成應(yīng)用，開(kāi)發(fā)了研磨拋光工業(yè)機(jī)器人，主要應(yīng)用于衛(wèi)浴五金行業(yè)；視覺(jué)分揀機(jī)器人，可廣泛應(yīng)用于食品等行業(yè)；精密裝配機(jī)器人，可應(yīng)用于家電電子等行業(yè)。“在IC裝備機(jī)器人方面，我們也進(jìn)行了集成傳輸平臺(tái)的研制。”新松相關(guān)負(fù)責(zé)人說(shuō)。

IC裝備產(chǎn)業(yè)方面，沈陽(yáng)將在繼續(xù)推動(dòng)承擔(dān)國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)的同時(shí)，研究如何通過(guò)風(fēng)險(xiǎn)投資、股權(quán)激勵(lì)等政策措施，鼓勵(lì)企業(yè)發(fā)展壯大。

在IC裝備產(chǎn)業(yè)方面，沈陽(yáng)是中國(guó)具有較高影響力、較強(qiáng)產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)的城市之一。僅今年上半年，沈陽(yáng)IC裝備企業(yè)就實(shí)現(xiàn)產(chǎn)值12億元，同比增長(zhǎng)11.6%，實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入8.7億元，同比增長(zhǎng)11.5%，實(shí)現(xiàn)利潤(rùn)8500萬(wàn)元，上繳稅金1600萬(wàn)元。

沈陽(yáng)荊拓公司最新研發(fā)的12英寸高產(chǎn)能生產(chǎn)型PECVD設(shè)備，不僅與華進(jìn)、蘇州晶方等半導(dǎo)體公司簽訂設(shè)備采購(gòu)合同，而且成功進(jìn)入臺(tái)灣市場(chǎng)，企業(yè)申請(qǐng)專(zhuān)利69項(xiàng)，已獲得授權(quán)38項(xiàng)。沈陽(yáng)芯源公司“凸點(diǎn)封裝涂膠顯影、單片濕法刻蝕設(shè)備的開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，截至目前已實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售43臺(tái)，銷(xiāo)售額達(dá)5840萬(wàn)元，產(chǎn)品出口達(dá)650萬(wàn)美元，并向LED等領(lǐng)域輻射，銷(xiāo)售額達(dá)1.08億元。沈陽(yáng)市科技局將組織實(shí)施機(jī)器人產(chǎn)業(yè)重大科技專(zhuān)項(xiàng)和技術(shù)成果轉(zhuǎn)化工程，開(kāi)展機(jī)器人產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新服務(wù)體系建設(shè)。設(shè)立“機(jī)器人與智能制造創(chuàng)新研究院”，實(shí)現(xiàn)科研與產(chǎn)業(yè)有效銜接。