MEMS等技術(shù)發(fā)展使微傳感器成為可能

時(shí)間:2015-08-14

來(lái)源:網(wǎng)絡(luò)轉(zhuǎn)載

導(dǎo)語(yǔ):進(jìn)入21世紀(jì)后,MEMS技術(shù)、低能耗的模擬和數(shù)字電路技術(shù)、低能耗的無(wú)線射頻(RF)技術(shù)、傳感器技術(shù)的發(fā)展,使得開發(fā)小體積、低成本、低功耗的微傳感器成為可能。

智能傳感器這一概念是由國(guó)外引進(jìn)的,通常定義為“帶有微處理器,具有信息處理功能的傳感器”,傳感器很大程度上能讓物體慢慢變得活了起來(lái)。筆者獲悉,隨著物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的發(fā)展,智能傳感器將迎來(lái)發(fā)展契機(jī)。進(jìn)入21世紀(jì)后,MEMS技術(shù)、低能耗的模擬和數(shù)字電路技術(shù)、低能耗的無(wú)線射頻(RF)技術(shù)、傳感器技術(shù)的發(fā)展,使得開發(fā)小體積、低成本、低功耗的微傳感器成為可能。

物聯(lián)網(wǎng)的定義

物聯(lián)網(wǎng)至今無(wú)確切的、統(tǒng)一的定義。有人提出:物聯(lián)網(wǎng)是物與物之間相連的互聯(lián)網(wǎng),核心基礎(chǔ)仍是互聯(lián)網(wǎng)。有人提出:物聯(lián)網(wǎng)不是互聯(lián)網(wǎng)的下一代,是互聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的拓展。物聯(lián)網(wǎng)的內(nèi)涵要比傳感網(wǎng)大,比泛在網(wǎng)小,物聯(lián)網(wǎng)要實(shí)現(xiàn)物到物、物到人、人到人的信息獲取、傳輸、處理等管理功能。

筆者根據(jù)有關(guān)資料分析、整理,物聯(lián)網(wǎng)的定義為“通過(guò)傳感裝置(器),按約定協(xié)議,將物與網(wǎng)連接,實(shí)現(xiàn)信息管理的一種網(wǎng)絡(luò)。”這里的傳感裝置可以是智能傳感器(對(duì)連續(xù)控制領(lǐng)域)、射頻識(shí)別器RFID(對(duì)離散控制領(lǐng)域)、其它獲取信息的傳感裝置等。這里的網(wǎng)可以是互聯(lián)網(wǎng)、傳感網(wǎng)、局域網(wǎng)、個(gè)域網(wǎng)、以它網(wǎng)、現(xiàn)場(chǎng)總線等。

我國(guó)物聯(lián)網(wǎng)總體尚處于起步階段,為推進(jìn)物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展,工業(yè)和信息化部將采取四大措施支持電信運(yùn)營(yíng)企業(yè)開展物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)創(chuàng)新與應(yīng)用工程,主要是:

●突破關(guān)鍵技術(shù),實(shí)現(xiàn)科技創(chuàng)新。如低能耗、低成本、通用性、實(shí)時(shí)性、智能性等共性關(guān)鍵技術(shù),“協(xié)同”處理技術(shù),推廣應(yīng)用技術(shù)等。

●制訂發(fā)展規(guī)劃,全面合理布局。重點(diǎn)發(fā)展高端傳感器、MEMS傳感器、智能網(wǎng)絡(luò)傳感器、傳感器節(jié)點(diǎn)、傳感器網(wǎng)關(guān);超高頻RFID、有源RFID和RFID中間件;重點(diǎn)發(fā)展物聯(lián)網(wǎng)相關(guān)的終端設(shè)備、應(yīng)用軟件和信息服務(wù)。

●推動(dòng)示范應(yīng)用,帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)價(jià)值。目前物聯(lián)網(wǎng)的應(yīng)用主要在八大方面,即工業(yè)領(lǐng)域、農(nóng)業(yè)領(lǐng)域、智能電網(wǎng)、交通運(yùn)輸領(lǐng)域、物流領(lǐng)域、醫(yī)療衛(wèi)生領(lǐng)域、節(jié)能環(huán)保領(lǐng)域、公共安全領(lǐng)域。建設(shè)應(yīng)用示范工程,確立以應(yīng)用帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展模式,提升物聯(lián)網(wǎng)在應(yīng)用過(guò)程中產(chǎn)業(yè)鏈的整體價(jià)值。

●制訂統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn),保障健康發(fā)展。根據(jù)產(chǎn)業(yè)需求,形成技術(shù)創(chuàng)新、標(biāo)準(zhǔn)制訂和知識(shí)產(chǎn)權(quán)協(xié)調(diào)互動(dòng)機(jī)制。加強(qiáng)關(guān)鍵技術(shù)研究,建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證、測(cè)試和仿真等標(biāo)準(zhǔn)服務(wù)平臺(tái),加快關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)的制訂、實(shí)施和應(yīng)用。積極參與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)制訂,整合國(guó)內(nèi)研究力量形成合力,推動(dòng)國(guó)內(nèi)自主創(chuàng)新的研究成果推向國(guó)際。

智能傳感器的發(fā)展

智能傳感器這一概念是由國(guó)外引進(jìn)的,通常定義為“帶有微處理器,具有信息處理功能的傳感器”。根據(jù)《敏感組件和傳感器名詞術(shù)語(yǔ)》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),這里“傳感器”的定義是:能感受規(guī)定的被測(cè)量并按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。通常有敏感組件和轉(zhuǎn)換組件組成。這里的“處理功能”主要包括:

●自檢測(cè)、自修正、自保護(hù)功能。如自動(dòng)采集數(shù)據(jù)、自檢驗(yàn)、自處理、自動(dòng)存貯和記憶;自校零、自校正、自標(biāo)定、自補(bǔ)償;自尋故障、自修正等。

●判斷、決策、思維功能。能根據(jù)輸入信息進(jìn)行判斷和制定決策、通過(guò)軟件控制做出多種決定。

●雙向通信、標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)字輸出或符號(hào)輸出功能。特別要指出的是,智能傳感器的概念是動(dòng)態(tài)的、發(fā)展的、變化的。

80年代,將信號(hào)處理電路(濾波、放大、調(diào)零)與傳感器設(shè)計(jì)在一起,輸出4~20mA電流或0~5V電壓,這樣的傳感器為當(dāng)時(shí)意義的智能傳感器。我們稱之為“第一代智能傳感器”。

80年代末到90年代中后期,將單片微處理器嵌入傳感器中,實(shí)現(xiàn)溫補(bǔ)、修正、校準(zhǔn),同時(shí)由A/D變換器將模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。這種類型的傳感器不但有硬件,還可通過(guò)軟件對(duì)信號(hào)進(jìn)行簡(jiǎn)單處理,輸出為數(shù)字信號(hào)。我們稱之為“第二代智能傳感器”。

“現(xiàn)場(chǎng)總線”概念提出后,對(duì)傳感器的設(shè)計(jì)提出了新要求,要求實(shí)現(xiàn)全數(shù)字、開放式的雙向通信,測(cè)量和控制信息的交換在底層上主要是通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)總線來(lái)完成,數(shù)據(jù)交換主要是通過(guò)Intranet等網(wǎng)絡(luò)來(lái)實(shí)現(xiàn),傳感器設(shè)計(jì)上軟件占主要地位,通過(guò)軟件將傳感器內(nèi)部各個(gè)敏感單元或與外部的智能傳感器單元聯(lián)系在一起。我們稱之為“第三代智能傳感器”。

進(jìn)入21世紀(jì)后,由于MEMS技術(shù)、低能耗的模擬和數(shù)字電路技術(shù)、低能耗的無(wú)線射頻(RF)技術(shù)、傳感器技術(shù)的發(fā)展,使得開發(fā)小體積、低成本、低功耗的微傳感器成為可能。這種微傳感器一般裝備有:一個(gè)用于感知外界環(huán)境物理量的敏感組件(如壓力、溫度、濕度、光、聲、磁等),一個(gè)用于處理敏感組件采集信息的計(jì)算模塊,一個(gè)用于通信的無(wú)線電收發(fā)模塊,一個(gè)為微傳感器的各種操作提供能量的電源模塊。我們稱之為“第四代智能傳感器”或“智能網(wǎng)絡(luò)化傳感器”。

物聯(lián)網(wǎng)在改造和提升傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè),引領(lǐng)和促進(jìn)新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展,推動(dòng)信息化在國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)生活及國(guó)防等方面的應(yīng)用,優(yōu)化國(guó)家重要基礎(chǔ)設(shè)施的效能,促進(jìn)節(jié)能減排和改進(jìn)公共服務(wù)等方面作用巨大,意義深遠(yuǎn)。

智能傳感器是物聯(lián)網(wǎng)中必不可少的重要組成部分,智能傳感器的特性如精度、穩(wěn)定性、可靠性、抗干擾能力、環(huán)境適應(yīng)性、功耗、成本、價(jià)格等性能,直接影響物聯(lián)網(wǎng)性能的優(yōu)劣和大規(guī)模的推廣、應(yīng)用。

智能傳感器設(shè)計(jì)與開發(fā)要求

為了滿足物聯(lián)網(wǎng)大規(guī)模、低成本、無(wú)人值守、環(huán)境復(fù)雜、電池供電等外界環(huán)境條件,智能傳感器的設(shè)計(jì)需滿足以下條件:

小型化物聯(lián)網(wǎng)的特點(diǎn)要求傳感器節(jié)點(diǎn)小型化。可采用MEMS技術(shù)、IC技術(shù),但必須考慮它們之間的兼容性和可行性。小型化與器件封裝有極大關(guān)系,智能傳感器小型化封裝成為關(guān)鍵技術(shù)之一。

低成本低成本是物聯(lián)網(wǎng)大規(guī)模應(yīng)用的前提,因此必須保證低成本。低成本與產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、市場(chǎng)需求、工藝水平、勞動(dòng)力資本等有關(guān)。不僅有技術(shù)問(wèn)題,還與國(guó)家政策、導(dǎo)向有關(guān)。從技術(shù)層面看,在產(chǎn)品設(shè)計(jì)時(shí)必須貫徹低成本設(shè)計(jì)原則。

低功耗因物聯(lián)網(wǎng)是靠電池長(zhǎng)期供電,為節(jié)約能源,智能傳感器必須采用低功耗供電。

抗干擾能抗電磁幅射、雷電、強(qiáng)電場(chǎng)、高濕、障礙物等惡劣環(huán)境。

靈活性傳感器節(jié)點(diǎn)在物聯(lián)網(wǎng)中應(yīng)用時(shí),節(jié)點(diǎn)通過(guò)提供一系列的軟、硬件標(biāo)準(zhǔn),能實(shí)現(xiàn)面向應(yīng)用的靈活編程要求。

智能傳感器設(shè)計(jì)方法

系統(tǒng)構(gòu)成智能網(wǎng)絡(luò)化傳感器系統(tǒng)有四部分組成,即數(shù)據(jù)采集子系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理子系統(tǒng)、無(wú)線通信子系統(tǒng)、電源子系統(tǒng)。數(shù)據(jù)采集子系統(tǒng)中,敏感組件面對(duì)的是外界環(huán)境的模擬信號(hào),與環(huán)境中檢測(cè)的物理量有關(guān),為了滿足控制實(shí)時(shí)性要求,信號(hào)采樣必須保證實(shí)時(shí)性,要求輸出的信號(hào)為數(shù)字信號(hào)。數(shù)據(jù)處理子系統(tǒng)由微控制器、存貯器、嵌入式操作系統(tǒng)、測(cè)試和下載接口構(gòu)成,微控制器是一個(gè)低功耗的系統(tǒng)級(jí)芯片,可以把采集子系統(tǒng)的信息經(jīng)A/D轉(zhuǎn)化成相應(yīng)的數(shù)據(jù)直接處理。存貯器用于存貯數(shù)據(jù)、測(cè)量值及其它用戶定義的數(shù)據(jù)。嵌入式實(shí)時(shí)操作系統(tǒng),用于提供實(shí)時(shí)的調(diào)度與管理。接口為調(diào)試和下載程序提供標(biāo)準(zhǔn)接口。無(wú)線通信子系統(tǒng)由天線連接器和無(wú)線射頻電路組成。電源子系統(tǒng)由電源供電單元和動(dòng)態(tài)電源管理單元構(gòu)成;動(dòng)態(tài)電源管理單元支持運(yùn)行相應(yīng)的低功耗運(yùn)算法則,最大限度延長(zhǎng)電池的使用壽命。

信號(hào)處理方法在網(wǎng)絡(luò)化使用環(huán)境中,即插即用是對(duì)網(wǎng)絡(luò)中的每個(gè)設(shè)備最基本的要求。但由敏感組件檢測(cè)的物理量其輸入輸出關(guān)系不確定,有些是線性的,通常是非線性的,必須保證系統(tǒng)準(zhǔn)確識(shí)別被測(cè)對(duì)象,確定被測(cè)對(duì)象信號(hào)位置,確定被測(cè)對(duì)象經(jīng)由敏感組件后輸入輸出的關(guān)系,確定輸入輸出的物理量。類似于傳統(tǒng)傳感器設(shè)計(jì)時(shí)涉及的性能標(biāo)定問(wèn)題,信號(hào)處理必須滿足上述要求。

接口設(shè)計(jì)智能網(wǎng)絡(luò)化傳感器在物聯(lián)網(wǎng)中應(yīng)用時(shí),通常涉及流程工業(yè)連續(xù)測(cè)控領(lǐng)域,可用于不同的網(wǎng)絡(luò)場(chǎng)合,遵循不同的協(xié)議標(biāo)準(zhǔn),要保證所設(shè)計(jì)的傳感器完全滿足這些協(xié)議較困難,就必須考慮接口問(wèn)題,接口設(shè)計(jì)是智能網(wǎng)絡(luò)化傳感器與普通傳感器的區(qū)別之一。

軟件工具開發(fā)傳統(tǒng)傳感器的研發(fā)主要由硬件構(gòu)成,研究對(duì)象局限于傳感機(jī)理、材料、結(jié)構(gòu)、工藝等物理方面,而智能傳感器的智能性則是在硬件基礎(chǔ)上通過(guò)軟件實(shí)現(xiàn)其價(jià)值,軟件在智能傳感器中占有重要成份,而智能化的程度與軟件開發(fā)水平成正比。軟件開發(fā)工具包括設(shè)計(jì)、通信、管理等,一般C、Labview,ActiveX等工具軟件均可完成,用于實(shí)現(xiàn)傳感器模型建立、標(biāo)定參數(shù)建立、最佳標(biāo)定模型選擇等。

智能傳感器的關(guān)鍵技術(shù)

智能傳感器在硬件制造方面的關(guān)鍵技術(shù)主要有:

●智能傳感器模塊中各芯片的設(shè)計(jì)技術(shù)。設(shè)計(jì)必須滿足小型化、低成本、低功耗、抗干擾、靈活性要求,利用Ansys和MSC.Patran、MSC.Marc、MSC.Fatigue軟件進(jìn)行芯片設(shè)計(jì)和仿真。需建立數(shù)學(xué)模型、線路設(shè)計(jì)、可靠性設(shè)計(jì)等工作。

●智能傳感器的制備工藝技術(shù)。需突破MEMS工藝與集成電路IC工藝的相容性技術(shù),智能傳感器的小型化封裝技術(shù),智能傳感器規(guī)?;a(chǎn)技術(shù)等。

●智能傳感器的可靠性技術(shù)。目前國(guó)產(chǎn)傳感器最大問(wèn)題是產(chǎn)品可靠性不高,直接影響傳感器應(yīng)用,可靠性性設(shè)計(jì)、可靠性試驗(yàn)、可靠性篩選、可靠性管理這些技術(shù)問(wèn)題必須貫穿產(chǎn)品制備始終。

●智能傳感器接口技術(shù),特別是與外部網(wǎng)絡(luò)的接口。

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