863計劃結碩果,新型集成電路制造設備研制成功

時間:2006-10-13

來源:中國傳動網(wǎng)

導語:據(jù)報道,中國863計劃集成電路制造裝備重大專項“100納米高密度等離子體刻蝕機和大角度離子注入機

據(jù)報道,中國863計劃集成電路制造裝備重大專項“100納米高密度等離子體刻蝕機和大角度離子注入機”近日在北京宣布通過科技部與北京市組織的項目驗收,這標志著中國集成電路制造核心裝備的研發(fā)取得了重大突破。 科技部高新技術發(fā)展及產(chǎn)業(yè)化司副司長戴國強介紹說:“集成電路制造的核心裝備主要包括七項設備,這次研發(fā)通過的兩項核心設備將有助于扭轉我國集成電路制造裝備依賴進口的局面?!?“他還表示,雖然目前我國集成電路制造業(yè)核心設備所能達到的精度是100納米,與國際上剛實現(xiàn)的65納米精度相比還有距離,但和我們以前的水平相比,已經(jīng)有了很大的進步?!? 這次100納米高密度等離子體刻蝕機和大角度離子注入機兩種設備的研制成功,讓中國高端集成電路核心設備技術水平跨越了5代。 中國集成電路制造業(yè)的發(fā)展同時還為集成電路制造裝備創(chuàng)造了可觀的市場空間。據(jù)預測,到2010年,中國集成電路產(chǎn)業(yè)投資累計將達到3500億元,其中大部分將用于集成電路制造裝備投資。這一趨勢使中國市場正在成為全球集成電路制造裝備業(yè)爭勝的焦點。 北京北方微電子公司和北京中科信公司與中國最大的集成電路代工廠——中芯國際公司分別簽訂了刻蝕機和離子注入機的批量采購合同,這也是中國國產(chǎn)主流集成電路核心設備產(chǎn)品實現(xiàn)首次銷售。
中傳動網(wǎng)版權與免責聲明:

凡本網(wǎng)注明[來源:中國傳動網(wǎng)]的所有文字、圖片、音視和視頻文件,版權均為中國傳動網(wǎng)(www.treenowplaneincome.com)獨家所有。如需轉載請與0755-82949061聯(lián)系。任何媒體、網(wǎng)站或個人轉載使用時須注明來源“中國傳動網(wǎng)”,違反者本網(wǎng)將追究其法律責任。

本網(wǎng)轉載并注明其他來源的稿件,均來自互聯(lián)網(wǎng)或業(yè)內(nèi)投稿人士,版權屬于原版權人。轉載請保留稿件來源及作者,禁止擅自篡改,違者自負版權法律責任。

如涉及作品內(nèi)容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。

關注伺服與運動控制公眾號獲取更多資訊

關注直驅與傳動公眾號獲取更多資訊

關注中國傳動網(wǎng)公眾號獲取更多資訊

最新新聞
查看更多資訊

熱搜詞
  • 運動控制
  • 伺服系統(tǒng)
  • 機器視覺
  • 機械傳動
  • 編碼器
  • 直驅系統(tǒng)
  • 工業(yè)電源
  • 電力電子
  • 工業(yè)互聯(lián)
  • 高壓變頻器
  • 中低壓變頻器
  • 傳感器
  • 人機界面
  • PLC
  • 電氣聯(lián)接
  • 工業(yè)機器人
  • 低壓電器
  • 機柜
回頂部
點贊 0
取消 0