日本Covalent Materials展出直徑為460mm的單晶硅硅錠

時(shí)間:2007-11-22

來源:中國傳動網(wǎng)

導(dǎo)語:日本Covalent Materials(原東芝陶瓷)在2007年11月15~16日于東京都內(nèi)舉行的該公司的技術(shù)展上展出了直徑460mm的單晶硅硅錠。

日本Covalent Materials(原東芝陶瓷)在2007年11月15~16日于東京都內(nèi)舉行的該公司的技術(shù)展上展出了直徑460mm的單晶硅硅錠。除用作300mm晶圓裝置的內(nèi)部部件外,將來還考慮用于450mm晶圓。 此次展出的硅錠將用作300mm刻蝕裝置的上部電極使用的簇射極板(Shower Plate)以及設(shè)置在晶圓載物臺上的環(huán)狀調(diào)焦環(huán)(Focus Ring)等部材。上述產(chǎn)品該公司均已投產(chǎn),部件直徑達(dá)400mm。利用上述材料培育起來的大口徑硅錠的生長技術(shù)是實(shí)現(xiàn)450mm晶圓的重要基礎(chǔ)技術(shù)。 今后要實(shí)現(xiàn)450mm晶圓,還需要進(jìn)一步減少硅錠內(nèi)的雜質(zhì)以及結(jié)晶缺陷。該公司計(jì)劃利用各種模擬技術(shù)來優(yōu)化結(jié)晶生長條件以及晶圓的加工研磨條件。半導(dǎo)體業(yè)界計(jì)劃2012~2014年在量產(chǎn)線上使用450mm晶圓,該公司也將為實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)繼續(xù)推進(jìn)開發(fā)。
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