摘要：介紹j直線電機在劃片機中的應(yīng)用，結(jié)果表明，直線電機在高精度定位和進給方面，性能優(yōu)異。 關(guān)鍵詞：直線電機劃片機高精度定位 Keywords linear motor，dicing machine，high accuracy of positioning 隨著計算機、通信、高性能消費類電子產(chǎn)品等產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，對Ic的需求越來越大，預(yù)計2008年我國對Ic的需求量將超過180億塊，而我國各類IC的封裝量目前僅達到38億塊，國內(nèi)封裝產(chǎn)量遠遠不能滿足國內(nèi)市場需求。在集成電路后封裝工藝過程中，對半導體芯片劃片是其第1道工序，由于要求精度高，所以在我們自行研制生產(chǎn)的劃片機中選用了直線電機用于高精度定位和進給機構(gòu)中。 工藝流程及要求 劃片是Ic后封裝中的第1道工序，其加工質(zhì)量將直接影響整個生產(chǎn)線的整體質(zhì)量。劃片采用精密切割技術(shù)，一般采用厚15～50um 的金剛砂輪片，將圓晶片上各個獨立的器件分割開來，劃片槽的寬度通常都小于6um，劃片深度在600～m以內(nèi)。劃片機采用CCD 攝像機和圖像處理軟件對圓晶片進行精確對位，直線電機步進分辨率高達1um，用于保證對位和加工的準確性，達到精密切割加工的目的 Ic后封裝工藝流程見圖l。 [b][align=center]詳細內(nèi)容請點擊： 直線電機在劃片機中的應(yīng)用[/align][/b]