集成電路檢測(cè)器ICS105同ICR型號(hào)的近場(chǎng)微探頭組合使用，可對(duì)集成電路（ICS105GND組套）和小型組件（ICS105UH組套）進(jìn)行高頻近場(chǎng)測(cè)量。通過(guò)對(duì)集成電路的近場(chǎng)分析，能夠在高頻環(huán)境下對(duì)集成電路的內(nèi)部過(guò)程有準(zhǔn)確了解。集成電路的干擾發(fā)射問(wèn)題將通過(guò)測(cè)量予以分析，找出集成電路中產(chǎn)生干擾發(fā)射的部位。

圖1近場(chǎng)微探頭ICRHH150-27是一款帶有水平測(cè)量線(xiàn)圈的探頭，用于磁場(chǎng)測(cè)量。測(cè)量分辨率為50µm，測(cè)量范圍為1.5GHz至6GHz。

除了朗格爾電磁兼容技術(shù)有限公司的ICR型號(hào)近場(chǎng)微探頭之外，還可借助探頭支架SH01將手持式探頭或場(chǎng)源置入到ICS105之中（圖2）。

使用不同的ICR近場(chǎng)微探頭，可在(50x50x50)mm的空間范圍內(nèi)分別對(duì)磁場(chǎng)或電場(chǎng)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量結(jié)果通過(guò)軟件CS-Scanner在電腦上顯示。此外，ICR近場(chǎng)微探頭可通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸自動(dòng)旋轉(zhuǎn)360°，以確定磁場(chǎng)的確切方向。借助視頻顯微鏡，可方便近場(chǎng)微探頭在測(cè)量目標(biāo)上的精確定位。ICS105檢測(cè)器的最小步進(jìn)值為10μm，可實(shí)現(xiàn)極高分辨率的測(cè)量（圖1）。

ICR型近場(chǎng)微探頭適用于1.5MHz至6GHz頻率范圍內(nèi)的測(cè)量，可達(dá)到的測(cè)量分辨率約為50μm。用于磁場(chǎng)測(cè)量的近場(chǎng)微探頭可提供兩種不同的基本規(guī)格。ICRHV近場(chǎng)微探頭帶有垂直測(cè)量線(xiàn)圈，ICRHH近場(chǎng)微探頭帶有水平測(cè)量線(xiàn)圈。ICRE近場(chǎng)微探頭的探針頭包括一個(gè)水平電極，用于電場(chǎng)測(cè)量。

不同類(lèi)型的近場(chǎng)微探頭配置齊全，確保在完成各類(lèi)眾多實(shí)際測(cè)量任務(wù)時(shí)能夠選取最佳的探頭型號(hào)。

使用近場(chǎng)微探頭可以進(jìn)行下列測(cè)量：

-根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IEC61967-3進(jìn)行集成電路表面掃描

-集成電路容量掃描

-針腳掃描

在測(cè)量過(guò)程中，只在相應(yīng)測(cè)量目標(biāo)上方移動(dòng)數(shù)個(gè)µm，確保精準(zhǔn)的近場(chǎng)數(shù)據(jù)采集。近場(chǎng)微探頭的外殼中內(nèi)置前置放大器，通過(guò)Bias-Tee偏置器供電。

圖2ICS105是一款桌上設(shè)備。緊湊的尺寸（350x400x420）mm和輕巧的重量（23kg）令其能夠方便安放在開(kāi)發(fā)人員的工作臺(tái)上。

集成電路檢測(cè)器ICS105通過(guò)USB接口連接至電腦，通過(guò)朗格爾電磁兼容技術(shù)有限公司的軟件ChipScan-Scanner（CS-Scanner，芯片掃描器）進(jìn)行控制（圖3）。可以通過(guò)軟件控制實(shí)現(xiàn)近場(chǎng)微探頭的移動(dòng)以及復(fù)雜測(cè)量流程的編程。

圖3測(cè)量時(shí)ICS105同頻譜分析儀和電腦相連。通過(guò)測(cè)量與分析軟件CS-Scanner對(duì)ICS105進(jìn)行控制，對(duì)測(cè)量結(jié)果予以記錄。

由朗格爾電磁兼容技術(shù)有限公司研制的軟件CS-Scanner可實(shí)現(xiàn)對(duì)頻譜分析儀中的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行讀出、進(jìn)行圖像顯示（2D或3D，圖4）、對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)的保存和輸出（CSV文件格式）。頻譜分析儀上的最重要設(shè)置也可通過(guò)軟件進(jìn)行（圖5）。

圖4軟件ChipScan-Scanner生成3D容積掃描

圖5軟件CS-Scanner的操作界面。右側(cè)為用于所連接頻譜分析儀的操作面板。左上方為測(cè)量圖表和跟蹤管理器，對(duì)所有已進(jìn)行的測(cè)量予以記錄。

輔以控制與分析軟件ChipScan-Scanner的集成電路檢測(cè)器ICS105

-通過(guò)電腦/筆記本進(jìn)行控制

-零點(diǎn)位置、近場(chǎng)微探頭手動(dòng)或基于腳本的移動(dòng)

-從頻譜分析儀中讀出數(shù)據(jù)

-測(cè)量數(shù)據(jù)的2D或3D圖形顯示

-輸出成csv文件或圖形文件

-在集成電路上進(jìn)行的自動(dòng)測(cè)量：

-根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IEC61967-3進(jìn)行集成電路表面掃描

-集成電路容量掃描

-針腳掃描