摘要：采用圓形電弧技術(shù)和線性離子源技術(shù)在高速鋼和硬質(zhì)合金刀具表面制備了類金剛石涂層，對涂層表面形貌和物相組成進行了觀察，對比分析了膜層成分和耐磨性能。結(jié)果表明，在高速鋼和硬質(zhì)合金表面分別制備了0.84μm和1.23μm厚涂層；對磨過程中Al的粘附量由少至多為：N1涂層 

機械加工刀具按工件加工表面的形式可分為五類，加工各種外表面的刀具、孔加工刀具、螺紋加工刀具、齒輪加工刀具和切斷刀具，此外，還有組合刀具。按切削運動方式和相應(yīng)的刀刃形狀，刀具又可分為三類：通用刀具、成形刀具和展成刀具。刀具材料大致分如下幾類：高速鋼、硬質(zhì)合金、金屬陶瓷、陶瓷、聚晶立方氮化硼以及聚晶金剛石。

本文以市場上用量較大的高速鋼和硬質(zhì)合金材料為基材，通過在兩種刀具基材表面進行涂層制備的方法，研究了表面涂層的物相組成和結(jié)構(gòu)，并對比分析了基材和涂層的摩擦磨損性能，旨在通過在機械加工刀具表面制備表面涂層來進一步提高刀具的使用壽命。

1、實驗材料與方法

選取市場上常用的高速鋼和硬質(zhì)合金刀具作為基材，分別采用圓形電弧技術(shù)和線性離子源技術(shù)在基材上制備金剛石涂層，以提高機械刀具的綜合性能。高速鋼基材為W8Mo5Cr3V1，硬質(zhì)合金基材為YG6，涂層制備過程中在基材上首先制備Cr層作為過渡層，整個涂層的結(jié)構(gòu)為：基材-Cr層-涂層，涂層成分為C。高速鋼表面涂層計為N-1，制備時的沉積溫度為180℃；硬質(zhì)合金刀具表層涂層計為N-2，沉積溫度為65℃。涂層的制備工藝流程為基材前處理、抽真空、爐內(nèi)刻蝕、Cr過渡層沉積、涂層沉積、隨爐冷卻和出爐等步驟。

采用JSM-2000型掃描電鏡對基材和涂層的形貌進行觀察，并用附帶的能譜分析儀測定了微區(qū)成分：物相分析采用德國BUEKER型X射線衍射分析儀進行觀察，掃描角度為20°~90°；涂層厚度采用BFKBALLCRATETDEVICE球磨儀測量；在F-1500型摩擦磨損試機上進行磨損試驗，對磨材料為工業(yè)純Al，試驗條件為轉(zhuǎn)速500r/min，法向載荷為200N，周期為10min，試驗溫度為常溫。

2、實驗結(jié)果與分析

圖1為采用圓形電弧技術(shù)在高速鋼表面制備的涂層的截面形貌和能譜分析。從截面顯微組織中可見基材、Cr過渡層和表面涂層組織，采用球磨儀測得的表面涂層的厚度為0.84μm，中間Cr過渡層的厚度為0.52μm。從能譜線掃描分析結(jié)果可見，在整個基材-Cr過渡層-涂層截面的C元素和Cr元素分布，可見Cr元素的濃度梯度界面層，而表面涂層中Cr元素含量較低，C元素含量較高。圖2為采用線性離子源技術(shù)在硬質(zhì)合金表面制備的涂層的截面形貌和能譜分析。從截面顯微組織中可見基材、Cr過渡層和表面涂層組織，采用球磨儀測得的表面涂層的厚度為1.23μm，中間Cr過渡層的厚度為0.68μm。從能譜線掃描分析結(jié)果中也可以清楚看到基材-Cr過渡層-涂層截面。整個截面層中C元素和Cr元素的分布狀態(tài)與高速鋼截面類似，但是在硬質(zhì)合金涂層中C元素含量要高。

兩種截面中的Cr過渡層中都出現(xiàn)了明顯的Cr濃度梯度界面，這種界面的存在可以在一定程度上降低整個涂層的生長應(yīng)，從而可以改善涂層與基材的結(jié)合力。

對高速鋼刀具表面涂層和硬質(zhì)合金刀具涂層表面的金相組織進行觀察，結(jié)果如圖3?？梢钥闯?，在高速鋼涂層表面出現(xiàn)了許多分布均勻的黑色顆粒，對這些尺寸較小的顆粒進行平均尺寸統(tǒng)計結(jié)果表明，這些黑色顆粒的平均尺寸為1.13μm；對比分析硬質(zhì)合金刀具表面金相組織，表面組織中較為干凈，沒有明顯的黑色顆粒狀物質(zhì)出現(xiàn)，只是在局部區(qū)域出現(xiàn)了黑色顆粒狀物質(zhì)。

這可能與涂層的制備工藝有關(guān)，高速鋼表面涂層由于采用的是圓形電弧技術(shù)，涂層表面會出現(xiàn)較大的波谷，造成表面粗糙度增加，而采用線性離子源技術(shù)的硬質(zhì)合金表面涂層的波谷較為平緩，所以其粗糙度會低。對高速鋼刀具表面涂層和硬質(zhì)合金刀具涂層表面進行X射線衍射圖譜分析，結(jié)果如圖4?？梢钥闯觯诟咚黉摫砻嫱繉雍陀操|(zhì)合金涂層中都出現(xiàn)了類金剛石物相和非晶態(tài)饅頭峰。但是兩種涂層表面的X射線衍射圖譜的衍射峰存在一定差異，具體表現(xiàn)為硬質(zhì)合金涂層表面峰較為毛糙，在60°~70°和80°~90°間的峰強度明顯小于高速鋼涂層表面峰值強度。兩種涂層表面的主要物相都為C，只是C的形態(tài)不同而已，高速鋼表面涂層的類金剛石膜層特征更加明顯。

圖5對比分析了高速鋼、硬質(zhì)合金基材、N1涂層和N2涂層在與工業(yè)純Al對磨后表面附著Al的情況對比分析，并用箭頭指出了鋁的存在，經(jīng)過對比分析可見，在經(jīng)過10min對磨試驗后，高速鋼基材表面質(zhì)量增加了0.394g，硬質(zhì)合金基材表面質(zhì)量增加了0.124g，而N1涂層和N2涂層表面質(zhì)量分別增加了0.009g和0.023g。結(jié)合質(zhì)量情況可見，對磨過程中Al的粘附量由少至多為：N1涂層

對于高速鋼涂層，在背散射掃描電鏡下，衍射較亮的部位為高速鋼基體，灰色部分為Al合金，黑色部分則為涂層，對比3min和7min摩擦后的形貌，3min對磨試樣后涂層中沒有出現(xiàn)明顯的Al殘留痕跡，涂層有一定程度的減薄，而7min對磨試驗后涂層中出現(xiàn)了局部破裂，局部還可以發(fā)現(xiàn)高速鋼基體材料，Al的殘留也開始出現(xiàn)。對于硬質(zhì)合金涂層，對比3min和7min摩擦后的形貌，在磨損進行到3min時，涂層中就已經(jīng)出現(xiàn)了破裂，同時在涂層中可以發(fā)現(xiàn)明顯的Al殘留痕跡，硬質(zhì)合金基體局部暴露；對比7min摩擦后的形貌，局部破裂行為進一步加劇，同時在涂層表面出現(xiàn)了大面積的Al粘附聚集現(xiàn)象，這一點與對磨后質(zhì)量的變化結(jié)果保持一致。

3、結(jié)論

（1）高速鋼表面涂層的厚度為0.84μm，中間cr過渡層的厚度為0.52μm；硬質(zhì)合金涂層的厚度為1.23μm，中間Cr過渡層的厚度為0.68μm。

（2）在經(jīng)過10min對磨試驗后，高速鋼基材表面質(zhì)量增加了0.394g，硬質(zhì)合金基材表面質(zhì)量增加了0.124g，而N1涂層和N2涂層表面質(zhì)量分別增加了0.009g和0.023g；對磨過程中Al的粘附量由少至多為：N1涂層