微型機(jī)器人是典型的微機(jī)電系統(tǒng)。世界各國已經(jīng)在微型機(jī)器人的研究方面取得了不少成果。微型機(jī)器人的發(fā)展依賴于微加工工藝、微傳感器、微驅(qū)動器和微結(jié)構(gòu)四個方面。這四個方面的基礎(chǔ)研究有三個階段：器件開發(fā)階段、部件開發(fā)階段、裝置和系統(tǒng)開發(fā)階段。

　　一、微型機(jī)器人的行走機(jī)構(gòu)

　　微型機(jī)器人要有自動行走(或爬行、的能力)，就必須有行走機(jī)構(gòu)。微機(jī)器人的行走機(jī)構(gòu)主要有：

　　1、輪式行走機(jī)構(gòu)，只適宜在較平坦的地面上行駛。

　　2、履帶式行走機(jī)構(gòu)，可以在不平坦的地面上行駛。

　　3、用腳行走，用得最多的是四腳和六腳的行走機(jī)構(gòu)，如要求在不平坦的地面上行走，則機(jī)構(gòu)較復(fù)雜。

　　4、靠慣性或自動伸縮的步進(jìn)蠕動式行走機(jī)構(gòu)。

　　5、在液體中用螺旋槳或其他方式推動前進(jìn)的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。

　　二、微型機(jī)器人分類

　　目前開發(fā)的微型機(jī)器人有以下三大類：

　　1、固定型微型機(jī)器人：其外觀像石頭、樹木、花草，裝有各種微型傳感器，可以探測出人體的紅外輻射、行走時的地面振動、金屬物體移動造成的磁場變化等，并將信號傳送到中央指揮部，指揮部可控制防御區(qū)內(nèi)的武器自動發(fā)起攻擊。

　　2、機(jī)動式的微型機(jī)器人：它們裝備有太陽能電池板和計算機(jī)，可以按照預(yù)定程序機(jī)動進(jìn)入敵人陣地與敵人同歸于盡。

　　3、生物型微型機(jī)器人：研究將微型傳感器安裝到動物或昆蟲身上，構(gòu)成微型生物機(jī)器人，使其進(jìn)人人類無法到達(dá)的地方，執(zhí)行戰(zhàn)斗或偵察任務(wù)。

　　鑒于微型機(jī)器人巨大的技術(shù)潛力和應(yīng)用前景，美國國家航空航天局NASA、噴氣推進(jìn)實驗室NASA/JPL、和DARPA合作，從1996年起制定出一系列計劃，進(jìn)行空間和軍用微型機(jī)器人的研究開發(fā)。例如，火星漫游微型機(jī)器人Sojourner于1997年7月在火星著陸，長60 em，高和寬分別為30 C1TI，自重約為11 kg，裝有攝像機(jī)和多種傳感器等。