技術頻道

分布重復投影光刻機（DSW）的精度和工作效率直接影響到大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝的特殊要求。為了提高DSW的精度和效率，研究和運用了先進運動控制技術，使光刻工作臺定位精度小于±0.5μm；同時應用視頻網(wǎng)絡技術，實現(xiàn)了遠程交互式工作方式。根據(jù)要求，完成了DSW的各系統(tǒng)模塊的設計，并且開發(fā)了基于PC的應用軟件。實驗結果表明，該改進型DSW體現(xiàn)了較高的應用價值。[著者文摘]