技術(shù)頻道

為減小測量誤差，設(shè)計(jì)了基于垂直位移掃描的接觸式表面形貌儀。該測量儀以保持杠桿處于平衡位置為測量前提，X_Y向，Z向工作臺分別采用衍射光柵為標(biāo)準(zhǔn)器；X—Y向工作臺采用直線電機(jī)和壓電陶瓷分別進(jìn)行粗、細(xì)兩級定位，Z向電機(jī)采用壓電陶瓷驅(qū)動微定位?？傮w論述了該儀器的整體結(jié)構(gòu)、測量原理、工作臺的定位控制以及衍射光柵干涉信號的處理等內(nèi)容。測量結(jié)果表明該系統(tǒng)有效地提高了測量精度。[著者文摘]