時(shí)間:2023-01-30 15:38:45來(lái)源:深圳市步科電氣有限公司
1、行業(yè)背景
單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。硅料經(jīng)加工得到高純度多晶硅,將多晶硅置入單晶爐中,可生長(zhǎng)得到單晶硅。單晶爐制備單晶硅是半導(dǎo)體工藝的第一道工序,得到的單晶硅用來(lái)制造硅片,因此單晶爐在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中具有重要作用。
單晶硅可采用區(qū)熔法、直拉法進(jìn)行制備,直拉法可生長(zhǎng)高純度單晶硅,可應(yīng)用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,是主流制備工藝。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展壯大,單晶爐市場(chǎng)需求隨之不斷增長(zhǎng),2021年,市場(chǎng)規(guī)模約為128億元。我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展極為迅速,晶圓廠建設(shè)興起,生產(chǎn)線不斷增多,拉動(dòng)市場(chǎng)對(duì)高純度單晶硅需求快速上升。在此背景下,我國(guó)單晶爐行業(yè)迎來(lái)發(fā)展機(jī)遇。
2、工藝介紹
如上圖所示,單晶爐有著較為復(fù)雜的一套操作工藝流程,對(duì)坩堝提升旋轉(zhuǎn)與定位,爐體主副室升降與旋開(kāi),熱屏的升降等各種操作都需要在觸摸屏上完成,同時(shí)單晶爐設(shè)備較高,操作人員需爬高一邊觀察設(shè)備情況一邊操作觸摸屏畫面,對(duì)此,一個(gè)可移動(dòng)的操作手柄顯得至關(guān)重要。
另外在移動(dòng)操作過(guò)程中,單晶硅都極其昂貴,在各工序操作中如有異常需要具有緊急停止功能,避免更大經(jīng)濟(jì)損失,所有的操作日志等都需要記錄下來(lái)形成歷史報(bào)表好供事后追溯。
同時(shí)單晶爐設(shè)備因?yàn)榭刂戚^為復(fù)雜,工序繁多,常使用大中型品牌PLC,西門子,倍福等,所以對(duì)于觸摸屏還需支持大中型PLC的標(biāo)簽通訊讓工程制作起來(lái)更加方便快捷。
3、步科解決方案
基本規(guī)格:7"TFT,800×480像素,1677萬(wàn)真彩色;
標(biāo)準(zhǔn)配置:10個(gè)可編程功能鍵,1個(gè)三選擇開(kāi)關(guān)、1個(gè)急停開(kāi)關(guān)適用于安全性要求較高的場(chǎng)合;
實(shí)用設(shè)計(jì):兼?zhèn)浒存I和觸控,應(yīng)用場(chǎng)合更廣,選擇更靈活;
使用耐久:移動(dòng)操作手持終端標(biāo)配5米電纜(10、15米可選),線纜可選柔性彈簧線,壽命長(zhǎng);
簡(jiǎn)單安裝:支持VESA標(biāo)準(zhǔn)(75×75mm孔距)支架、掛架安裝,方便操作工攜帶。
4、方案特點(diǎn)
手持屏產(chǎn)品設(shè)計(jì),觸摸屏設(shè)備可自由移動(dòng),方便調(diào)試;
自帶急停開(kāi)關(guān),確保安全可靠;
觸摸屏面板配置多個(gè)可編程按鍵,靈活應(yīng)用,操作更加便利 ;
支持西門子,倍福等大中型PLC標(biāo)簽通訊協(xié)議,組態(tài)開(kāi)發(fā)效率更加高效;
支持操作日志記錄,數(shù)據(jù)采樣,生成報(bào)表曲線,支持導(dǎo)出數(shù)據(jù)表格文件。
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