1 翻轉(zhuǎn)軸晶圓機(jī)器人-SR8220-1024-R系 列

　　隨著國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，國內(nèi)半導(dǎo)體裝備企 業(yè)對于半導(dǎo)體的制造工藝由后道工序不斷的向前道工序拓 展，對于搬運(yùn)晶圓的結(jié)構(gòu)需求類別日益新增。為了滿足多樣 化的市場需求，智贏在2023年推出了翻轉(zhuǎn)軸晶圓機(jī)器人。

　　SR8220-1024-R系列產(chǎn)品的特點(diǎn)包括：

　　? 采用伺服電機(jī)中空軸結(jié)構(gòu)作為翻轉(zhuǎn)軸;

　　? 翻轉(zhuǎn)軸可根據(jù)要求調(diào)節(jié)速度;

　　? 伺服電機(jī)絕對值編碼器;

　　? 可以實(shí)現(xiàn)真空吸附、夾持、伯努利形式的翻轉(zhuǎn);

　　? 結(jié)構(gòu)靈活、單臂、雙臂翻轉(zhuǎn)都可以實(shí)現(xiàn)。

　　翻轉(zhuǎn)軸晶圓機(jī)器人SR8220-1024-R系列適合晶圓制 造的工藝段有：晶圓的涂膠、貼膜、激光打標(biāo)、清洗、研 磨、去膠、顯影、刻蝕等。

　　2 EFEM專用晶圓機(jī)器人-SR8220系列

　　EFEM是半導(dǎo)體設(shè)備的前端模塊，是連接物料搬運(yùn)系 統(tǒng)和硅片處理系統(tǒng)的橋梁，確保晶圓能在高潔凈環(huán)境下傳 輸?shù)焦に?、檢測模塊，是半導(dǎo)體設(shè)備的重要配件。EFEM 模塊設(shè)備配備大氣晶圓搬運(yùn)機(jī)器人， 安裝在框架中， 框 架配備有FFU(風(fēng)扇過濾器單元)和安裝在前面的裝載端 口。智贏提供的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人SR8220系列是EFEM模塊內(nèi)的關(guān)鍵部件。

　　智贏提供的大氣晶圓搬運(yùn)機(jī)器人SR8220系列保證晶 片的快速、穩(wěn)定搬運(yùn); 滿足Class1的潔凈等級;可以實(shí) 現(xiàn)不同品類Whole wafer、Frame wafer、Hoop ring wafer的搬運(yùn)。

　　另外智贏對于EFEM內(nèi)部結(jié)構(gòu)機(jī)器人還可以提供走行 軸結(jié)構(gòu)、手臂翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、伯努利輸運(yùn)結(jié)構(gòu)滿足多種使用工 況的要求。

　　SR8220產(chǎn)品特點(diǎn)如下：

　　? 采用2ARM構(gòu)造增大了搬運(yùn)范圍;

　　? 實(shí)現(xiàn)晶圓的高速傳輸和雙片同取放;

　　? 確保了超高的直線精度;

　　? ARM和 Z軸 的 各 種 組 合 以 滿 足 對 應(yīng) 各 種 裝 置 的 需 求;

　　? 可同時(shí)適用于4-12英寸的晶圓搬送。

　　為了解決晶圓搬運(yùn)機(jī)器人對晶圓制成工藝段的不同 要求，智贏自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn)了多種類別機(jī)械夾手， 如陶 瓷手、鋁合金夾手、碳纖維等， 滿足裸晶圓吸附、鐵環(huán)夾 持、子母環(huán)搬運(yùn)等多種制造工藝。另外， 智贏針對客戶特 殊工況需要，也可以定制機(jī)械夾手來滿足生產(chǎn)需要。

　　SR8220系列晶圓機(jī)器人可應(yīng)用于大氣環(huán)境半導(dǎo) 體晶圓高速搬運(yùn)，適用于各種半導(dǎo) 體設(shè)備、E FE M、 SORTER、涂膠顯影設(shè)備、清晰設(shè)備、檢測設(shè)備等。

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