堡盟 CX.XC 相機(jī)高效控溫檢測(cè)更可靠

文:堡盟集團(tuán)2023年第五期

       1 半導(dǎo)體生產(chǎn)精確與溫度相關(guān)

  在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,相機(jī)保持熱穩(wěn)定性至關(guān)重要。例如, 在晶圓鍵合過(guò)程中,檢測(cè)系統(tǒng)必須確保每片晶圓的標(biāo)記精準(zhǔn) 對(duì)齊。這就要求視覺(jué)相機(jī)能夠執(zhí)行高精度圖像采集,因?yàn)槠?測(cè)量公差必須保持在納米范圍內(nèi)。

  要獲得如此精確的數(shù)據(jù),相關(guān)相機(jī)部件在測(cè)量期間必須 保持熱穩(wěn)定性。

  堡盟設(shè)計(jì)的集成冷卻管擁有兩大決定性優(yōu)勢(shì):它不僅能 確保相機(jī)所需的熱穩(wěn)定性,還能讓相機(jī)在幾分鐘內(nèi)冷卻到恒 定溫度,冷卻速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)通常使用的外部冷卻設(shè)備。這種 主動(dòng)冷卻功能可縮短數(shù)據(jù)采集的等待時(shí)間,從而節(jié)省用戶的 寶貴時(shí)間。

  2 性能強(qiáng)大,持續(xù)保持低溫

  與安裝在相機(jī)外殼外部的冷卻部件不同的是,集成冷卻 管正好位于產(chǎn)生熱量的地方:傳感器和鏡頭周圍。

  Part.1 集成主動(dòng)冷卻功能

  集成主動(dòng)冷卻功能的CX.XC系列相機(jī),通過(guò)集成管路利用 2-3 bar的壓縮空氣或高達(dá)6 bar的液體(如水)進(jìn)行冷卻。由于 能有效散熱,所以采集的圖像噪聲很低,缺陷像素很少,保證 在外殼溫度高達(dá)65°C的情況下也能提供可靠的圖像數(shù)據(jù)。

  得益于傳感器和鏡頭周圍的有效散熱,CX.XC相機(jī)成 功避免了熱像素漂移,所采集的圖像噪聲很低,缺陷像素很 少,并且具有高動(dòng)態(tài)范圍。

  Part.2 滿足不同行業(yè)應(yīng)用要求

  CX系列相機(jī)傳感器產(chǎn)品組合非常豐富, 在工業(yè)圖像處 理領(lǐng)域能夠滿足跨行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用的要求。尺寸為29×29mm 的標(biāo)準(zhǔn)型CX相機(jī)搭載先進(jìn)的Sony Pregius、Pregius S、 STARVIS、Polarsens以及onsemi PYTHON CMOS傳感 器,功能豐富。

圖片 109.png

  除此之外,為了滿足不同應(yīng)用的要求,CX系列還有以下三種機(jī)型:

  ? 配備GigE Vision或USB3 Vision接口的相機(jī);

  ? 偏振相機(jī)可捕捉物體表面完整的線性偏振狀態(tài);

  ? 帶全局快門、卷簾快門以及全局復(fù)位快門的相機(jī)。

  CX.XC相機(jī)可完成高度精確的圖像采集,確保晶圓鍵合過(guò)程中標(biāo)記精準(zhǔn)對(duì)齊。

  Part.3 卓越的圖像質(zhì)量和高幀率

  CX相機(jī)具有卓越的圖像質(zhì)量和高幀率——設(shè)置感興趣區(qū)域(ROI)后,幀率甚至遠(yuǎn)高于1000 fps。借助曝光、增益、白平衡、色彩轉(zhuǎn)換等自動(dòng)功能,相機(jī)可輕松集成到光照條件不斷變化的應(yīng)用中。

  由于集成了冷卻管,堡盟CX.XC相機(jī)能為高溫環(huán)境下的應(yīng)用或微米級(jí)測(cè)量任務(wù)提供高精度圖像。

  3 半導(dǎo)體2024復(fù)蘇,產(chǎn)能擴(kuò)充帶來(lái)新機(jī)遇

  下半年經(jīng)濟(jì)逐步開(kāi)始進(jìn)入回暖期,根據(jù)行業(yè)預(yù)測(cè)2024年半導(dǎo)體行業(yè)將迎來(lái)大面積復(fù)蘇,出口和消費(fèi)相關(guān)的玻璃及金屬加工制品行業(yè)也在逐步恢復(fù)之中,堡盟CX.XC相機(jī)也將伴隨行業(yè)的回升迎來(lái)自己發(fā)展的新機(jī)遇。

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